新華報(bào)業(yè)·新江蘇訊 （記者 房雅雯） 在近日舉辦的2024集成電路（無(wú)錫）創(chuàng)新發(fā)展大會(huì)上，由上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院建設(shè)的國(guó)內(nèi)首條光子芯片中試線(xiàn)宣布正式啟用，預(yù)計(jì)年產(chǎn)能達(dá)1萬(wàn)片晶圓。Fr9新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門(mén)戶(hù)網(wǎng)

據(jù)了解，該光子芯片中試平臺(tái)位于無(wú)錫蠡園開(kāi)發(fā)區(qū)，總面積1.7萬(wàn)平方米，集科研、生產(chǎn)、服務(wù)于一體，配備了超100臺(tái)國(guó)際頂級(jí)CMOS工藝設(shè)備，覆蓋薄膜鈮酸鋰光子芯片從光刻、薄膜沉積、刻蝕、濕法、切割、量測(cè)到封裝的全閉環(huán)工藝。此外，平臺(tái)還兼顧硅、氮化硅等其他材料體系，搭建N個(gè)特色工藝平臺(tái)，形成領(lǐng)先的“1+N”先進(jìn)光子器件創(chuàng)新平臺(tái)，不僅可為高校、科研院所、創(chuàng)新企業(yè)提供全流程技術(shù)服務(wù)，還可為光子產(chǎn)業(yè)孵化項(xiàng)目打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場(chǎng)化的完整鏈條，加速科技成果的商業(yè)化轉(zhuǎn)化。Fr9新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門(mén)戶(hù)網(wǎng)