近日，蘇州高新區(qū)企業(yè)天準科技參股的蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司實現(xiàn)國產(chǎn)半導(dǎo)體高端檢測設(shè)備新突破，其面向40nm技術(shù)節(jié)點的明場納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備TB1500完成廠內(nèi)驗證。4OS新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)

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　　缺陷檢測設(shè)備作為保證芯片質(zhì)量、降低生產(chǎn)成本，推進工藝迭代的重要工具，在芯片生產(chǎn)流程中不可或缺，擁有更高檢測精度、更全缺陷類型覆蓋率的明場缺陷檢測設(shè)備受行業(yè)青睞。4OS新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)

　　據(jù)悉，為滿足40nm技術(shù)節(jié)點的工藝制程需求，TB1500提升了光源亮度和感度，增大了物鏡視野和速度，能夠捕捉更小缺陷尺寸；TB1500核心關(guān)鍵部件全部實現(xiàn)自主可控，同時采用先進的信號處理算法，有效提高信噪比和檢測靈敏度。此次TB1500完成廠內(nèi)驗證，是中國半導(dǎo)體前道缺陷檢測裝備產(chǎn)業(yè)的又一次重大突破。4OS新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)

　　蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司匯聚了來自國內(nèi)外知名半導(dǎo)體設(shè)備公司、晶圓代工廠、上市公司和研究機構(gòu)的頂尖人才，逐步打破KLA等外商對缺陷檢測市場的壟斷。公司另一款產(chǎn)品，面向28nm技術(shù)節(jié)點的TB2000設(shè)備進展順利，各核心零部件均已完成開發(fā)，計劃于2024年底發(fā)布樣機。4OS新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)

　　蘇州天準科技股份有限公司成立于2005年，位于太湖科學(xué)城功能片區(qū)，專注于機器視覺技術(shù)的研發(fā)應(yīng)用推廣。公司是科創(chuàng)板首家工業(yè)視覺裝備上市公司，國家高新技術(shù)企業(yè)，國家專精特新“小巨人”、國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項牽頭承擔單位、工信部智能制造系統(tǒng)解決方案供應(yīng)商。公司建設(shè)有國家級企業(yè)技術(shù)中心、國家博士后科研工作站、省工程技術(shù)研究中心、省研究生工作站。4OS新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)

　　當前，太湖科學(xué)城功能片區(qū)正大力推動高端裝備制造產(chǎn)業(yè)集群化發(fā)展。接下來，該片區(qū)將重點圍繞智能制造、大數(shù)據(jù)等主攻方向，以頭部企業(yè)為主導(dǎo)，以院所平臺為技術(shù)支撐，加快布局前沿技術(shù)、拓展場景賦能，打造千億級數(shù)字與智能產(chǎn)業(yè)集群。（蘇報融媒記者 劉曉平 顧玲 通訊員 軻曉渚）4OS新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)