近日，蘇州高新區(qū)企業(yè)天準科技參股的蘇州矽行半導體技術有限公司實現(xiàn)國產半導體高端檢測設備新突破，其面向40nm技術節(jié)點的明場納米圖形晶圓缺陷檢測設備TB1500完成廠內驗證。U7B新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)

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　　缺陷檢測設備作為保證芯片質量、降低生產成本，推進工藝迭代的重要工具，在芯片生產流程中不可或缺，擁有更高檢測精度、更全缺陷類型覆蓋率的明場缺陷檢測設備受行業(yè)青睞。U7B新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)

　　據(jù)悉，為滿足40nm技術節(jié)點的工藝制程需求，TB1500提升了光源亮度和感度，增大了物鏡視野和速度，能夠捕捉更小缺陷尺寸；TB1500核心關鍵部件全部實現(xiàn)自主可控，同時采用先進的信號處理算法，有效提高信噪比和檢測靈敏度。此次TB1500完成廠內驗證，是中國半導體前道缺陷檢測裝備產業(yè)的又一次重大突破。U7B新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)

　　蘇州矽行半導體技術有限公司匯聚了來自國內外知名半導體設備公司、晶圓代工廠、上市公司和研究機構的頂尖人才，逐步打破KLA等外商對缺陷檢測市場的壟斷。公司另一款產品，面向28nm技術節(jié)點的TB2000設備進展順利，各核心零部件均已完成開發(fā)，計劃于2024年底發(fā)布樣機。U7B新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)

　　蘇州天準科技股份有限公司成立于2005年，位于太湖科學城功能片區(qū)，專注于機器視覺技術的研發(fā)應用推廣。公司是科創(chuàng)板首家工業(yè)視覺裝備上市公司，國家高新技術企業(yè)，國家專精特新“小巨人”、國家重大科學儀器設備開發(fā)專項牽頭承擔單位、工信部智能制造系統(tǒng)解決方案供應商。公司建設有國家級企業(yè)技術中心、國家博士后科研工作站、省工程技術研究中心、省研究生工作站。U7B新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)

　　當前，太湖科學城功能片區(qū)正大力推動高端裝備制造產業(yè)集群化發(fā)展。接下來，該片區(qū)將重點圍繞智能制造、大數(shù)據(jù)等主攻方向，以頭部企業(yè)為主導，以院所平臺為技術支撐，加快布局前沿技術、拓展場景賦能，打造千億級數(shù)字與智能產業(yè)集群。（蘇報融媒記者 劉曉平 顧玲 通訊員 軻曉渚）U7B新江南網(wǎng)|江南區(qū)域知名綜合門戶網(wǎng)